Vérin pousseur 02
Vérin linéaire de micro-positionnement.
- 20 : Course utile (mm)
- 150 : Résolution (nm/pas moteur)
- mini 5 pas 200 : Charge axiale (N)
- A : Forme du corps d’actionneur
- VS : Vide Secondaire (10-6 mbar)
Tige anti-rotation
Répétabilité <1µm RMS
Linéarité <1%
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