Vérin pousseur 01

 Vérin linéaire de micro-positionnement.

  • 55 : Course utile (mm)
  • 200 : Resolution (nm/pas moteur) mini 5 pas
  • 500 : Charge axiale (N)
  • VS : Vide Secondaire (10-6 mbar)

Tige anti-rotation

Répétabilité <1µm RMS

Linéarité <1%

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