Positionneur 6 axes
Positionnement 6 axes: Ty, Tz – Translation Tx, Ty miroir – Translation Rx, Rz miroir – Rotation
Résolution :
- Translation: 1 µm
- Rotation: 1,5 µrad
Précision
Translation: 50 µm Rotation: ±100 µrad max
Vitesse
Ty, Tz: 0,05 mm/s Tx miroir: 0,4 mm/s Ty miroir: 0,3 mm/s Rx miroir: 1 mrad/s Rz miroir: 1,5 mrad/s
Environnement sous vide 10-6 mbar
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