Positionnement 5 axes: Tx, Ty – Platine de translation horizontale Tz – Platine de translation verticale Rz – Platine de rotation Ry – Platine goniométrique
Translation Tx, Ty, Tz
Course : 20 mm
Résolution: <1 µm (4 pas moteur)
Rotation Rz
Course 340°
Résolution: < 0,001° (6 pas moteur)
Rotation Ry
Course 10°
Résolution: < 0,001° (5 pas moteur)
Translation Tx, Ty, Tz
Mouvements irréversibles
Translation: vis-écrou
Rotation: roue-vis sans fin
Environnement sous vide 10-6 mbar
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