Positionneur Miroir KB M1
Positionnement 4 axes: Tx – Translation motorisée suivant X Rx, Rz, Rs – Rotation motorisée suivante X, Z, S
Miroir M1 de focalisation verticale
Translation Tx / Réglage fin
* Course: ± 2 mm * Résolution: < 10 µm * Précision: ± 10 µm
Rotation Rx / Réglage fin
Rotation Rx / Réglage fin * Course: ± 3 ° / Résolution: < 2 µrad / Précision: ± 4 µrad Rotation Rz / Réglage fin * Course: -0,1 à +0,2 ° / Résolution: 0,1 µrad / Précision: ± 1 µrad Rotation Rs / Réglage fin * Course: -0,1 à +0,2 ° / Résolution: 0,1 µrad / Précision: ± 7 µrad
Miroir M1 équipé de circuit de refroidissement par eau
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