Micro-nano positionnement

Scan microlight

Scan 2ϴ

T2ϴ-40-1
  • Système intégré 2ϴ
  • Encodeur rotatif incrémentiel 13bits
  • Structure en aluminium
  • Connecteurs sub-D9
  • Espace entre la surface active et l'axe de rotation <50µm
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: Scan 2ϴ
table de micro positionnement sur une table

TMP 25-200-50

Table de micro positionnement
  • Course : 25mm, mouvement de translation irréversible
  • Compatible UHV
  • Moteur pas à pas hybride
  • Résolution en déplacement : 225nm / pas moteur
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: TMP 25-200-50

µAME17 PC

Actionneur Micrométrique d'Effort
  • Alimentation : 24V
  • Courant nominal : 0.5A rms/phase
  • Résolution : 0.5mN/pas
  • Effort : ± 17 N
  • Hystérésis : 1%
  • Vitesse : jusqu'à 4N/s
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: µAME17 PC

µVMR 12-80

Vérin micrométrique robotique
  • Moteur courant continu
  • Réducteur planétaire
  • Déplacement réversible
  • Vis à frottement de grande précision
  • Système d’anti-rotation de la tige
  • Efforts bidirectionnels allant jusqu’à 80N
  • Fixation par bridage du corps
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: µVMR 12-80

VCM 50-20-6V

Vérin Compact Motorisé
  • Entrainé par un moteur courant continu à balais
  • Système anti-rotation de la tige
  • Effort de poussée ou de traction allant jusqu'à 50N
  • Vitesse : 10mm/s en charge maxi.
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: VCM 50-20-6V
interfaces-xy-robot-cristal-ispsystem

Platine XY porte échantillon

Table de micro-positionnement XY 2-1000-10
  • Composé de 2 platines de translation (Tx et Ty)
  • Motorisation pas à pas (2 phases)
  • Mouvement de translation
  • Guidages linéaires précontraints à billes pour un déplacement doux et précis
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: Platine XY porte échantillon

Enceinte à vide

Du positionneur multi-axes Nanocopium
  • 2 enceintes à vide
  • Dimension interne : 350 x 600 x 370mm & 450 x 950 x 490mm
  • Equipés de 2 positionneurs de grande précision à l’intérieur
  • Positionneurs dissociés de l’enceinte pour découpler les vibrations et dilatations thermiques
Table de micro positionnement miniature

µTMP 16

Table de Micro Positionnement miniature
  • Course : 16 mm
  • Finition aluminium
  • Encombrement minimal : 40x40x18, plateau 25x25
  • Application : positionner ou non un filtre dans un faisceau laser
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: µTMP 16
table-micro-positionnement-TMP32

µTMP 32

Table de Micro-Positionnement miniature
  • Encombrement minimal : 25x25x15 mm
  • Course : jusqu’à 20mm
  • Résolution : 25nm min
  • Système vis-écrou irréversible avec dispositif de rattrapage de jeu
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: µTMP 32

Porte Référence Commune

Support optique
  • Equipement du LMJ
  • Positionne avec grande précision la Référence Commune au centre de la Chambre d’expérience
  • Equipé d’un positionneur à 6 DDL
  • Compatible : vide secondaire, milieu contaminé
  • Résiste aux contraintes CEM
  • Gestion de la sécurité: automate de sécurité

Platine rotationnelle

Mouvements de rotation suivant 3 axes
  • Génère mouvement de rotation suivant 3 axes dans un encombrement réduit
  • Equipé d’un plateau rotulé actionné par 3 butées micrométriques
  • Butées équipées d’un renvoi d’angle à 90°
  • Sensibilité du déplacement en rotation de 1µrad
  • Course de +/- 1mm sur chaque axe de réglage
  • Disponible en version motorisée
verin-micro-positionnement-applications-spatiales-VMP-60

VMP-60 Applications spatiales

Vérin de micro-positionnement
  • Grande rigidité axiales & radiales
  • Stabilité thermomécanique
  • Motoréducteur pas à pas
  • Compatible aux environnements particulier : UHV, -80°C à +60°C, atmosphère CO², chocs, ...
  • Course : 60mm
  • Résolution : 50nm / pas
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: VMP-60 Applications spatiales
verin-micro-positionnement-VMP-10-100-60

Vérin VMP 10-100-60

Vérin de micro-positionnement
  • Système anti-rotation de la tige
  • Motoréducteur pas à pas
  • Déplacement irréversible
  • Course : 10mm
  • Résolution : 0.054 µm/ pas moteur
  • ISO 6
  • Existe en version LMJ
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: Vérin VMP 10-100-60

TMP 4-50-200

Disponible avec codeur magnétique
  • Charges supportées : jusqu’à 50N
  • Motoréducteur pas à pas
  • Guidage à billes sans recirculation
  • Course : 4mm
  • Résolution : 50nm / pas moteur
  • ISO 6
  • Durci nucléaire
  • Disponible avec ou sans codeur magnétique
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: TMP 4-50-200

Table de micro-positionnement XSZ

3 axes : Tx Ts Tz
  • Positionnement précis d'optiques ou de capteurs
  • Composé de 3 étages : 2 platines de translation (Tz et Tx) et 1 actionneur TMP (Ts)
  • Motorisation pas à pas hybride 2 phases : 200 pas/tour
  • Stabilité de position hors alimentation en énergie
  • Chaque étage est équipé d'un codeur linéaire incrémental
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: Table de micro-positionnement XSZ

TMP 29-33-300

Version ultra rigide
  • Chambre supportées : jusqu'à 300N
  • Motoréducteur pas à pas
  • Guidage linéaire à recirculation de billes
  • Course : 29mm
  • Résolution : 33nm / pas moteur
  • ISO 6
  • Durci nucléaire
  • Existe en différentes courses
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: TMP 29-33-300

TMP ER 25-1000-50

Ultra basse
  • Mouvement de translation irréversible
  • Motoréducteur pas à pas
  • Guidage linéaire sans recirculation à rouleaux croisés : déplacement doux et précis
  • Course : 25 mm
  • Résolution : 165 nm / pas moteur
  • Configuration XYZ disponible
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: TMP ER 25-1000-50
Photo TMP-50-1000-100

TMP 50-1000-100

Configuration XY disponible
  • Moteur pas à pas hybride
  • Mouvement de translation irréversible
  • Guidage linéaire à recirculation de billes : déplacement doux et précis
  • Course : 50mm
  • Résolution : 625 nm/ pas moteur
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: TMP 50-1000-100

TMP 135-6000-100

Configuration XYZ disponible
  • Motoréducteur pas à pas
  • Guidage linéaire à recirculation de billes
  • Course : 135mm
  • Résolution : 6.25 µm / pas moteur
  • Existe en différentes courses
  • Version LMJ disponible
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: TMP 135-6000-100
TMP-XY-400-4-1000

TMP XY 400-4-1000

  • Unité de translation 2 axes
  • Platine de translation : Course : 400 mm // Rectitude : +/- 10µm sur 400mm
  • Course Table de micro positionnement : 2mm
  • Course : 2 mm
  • Précision : 1 µm
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: TMP XY 400-4-1000
TMR-30-20

TMR 30-20

Table micrométrique robotisée
  • Mouvement de translation en XYZ
  • Déplacement par système vis-écrou
  • Course maximale : 30mm
  • Vitesse maximale : 3mm/s
  • Masse : 510g
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: TMR 30-20
TMR-150-100-Table-Motorisee-Etanche

TMR 150-100

Table motorisée étanche
  • Utilisation en milieu agressif
  • Course : 150mm
  • Capacité de charge verticale : 100N
  • Capacité de charge horizontale: 400N
  • Étanchéité IP68
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: TMR 150-100
photo table nano positionnement NLS 2 axes

NLS II : XY

Table de Positionnement nanométrique
  • Motorisation: moteur électromagnétique sans fer
  • Pilotage en boucle ouverte ou fermée
  • Compatible avec application sous-vide et ultra-vide (10-9mbar)
  • Résolution nanométrique
  • Rectitude : 1µrad/ ±30 nm (course de 5 nm)
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: NLS II : XY

Positionneur multi-axes AXOC

Positionneur multi-axes de miroirs de focalisation
  • Positionneur KB
  • Compact, grande rigidité et stabilité élevée
  • Compatible avec l’Ultra vide
  • 2 systèmes de positionnements : un à 6 axes (3 translations, 2 rotations et 1 rotation manuelle) et le deuxième à 5 axes (2 translations, 1 rotation et 2 rotations manuelles)
  • Course : +/- 5mm
  • Résolution : 5µm
  • Précision : 10µm
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: Positionneur multi-axes AXOC

Boitier de pilotage 2 axes

Moteur pas à pas sans codeur
  • Système autonome avec contrôleur deux axes
  • Chaque axe est indépendant et dispose d’une entrée de commande analogique
  • Permet un asservissement de position externe
  • Capacité de gérer capteur fins de course et capteur d’origine
  • Dimensions : 290 x 180 x 120 mm
  • Communication : RS232 (Trame ASCII)
  • Alimentation : 85-240VAC/50-60Hz
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: Boitier de pilotage 2 axes

Rotule 350-50

Rotule 3 axes de mouvements
  • Assure la liaison avec les éléments déplacés
  • Aucun jeu
  • Excellente tenue mécanique intrinsèque assurant une sécurité de soutien
  • ISO 6
  • Disponible en version charges réduites
  • Grande raideur suivant les 3 axes de mouvements
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: Rotule 350-50

Positionneur multi-axes Nanoscopium

Pour miroirs de focalisation
  • Cinématique adaptée à la minoration des mouvements parasites
  • Supportage et refroidissement par eau des miroirs
  • Grande rigidité et stabilité élevée
  • Compatible avec l’Ultra Vide (UHV 10-10 mbar)
  • 5 DDL : 3 rotations et 2 translations
  • Course : ± 4mm
  • Résolution : < 100nm
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: Positionneur multi-axes Nanoscopium

Positionneur 3 axes

Positionneur 3 axes pour cibles
  • Assure mouvements de grande précision
  • Réglages suivant θX, θY et θZ
  • 2 actionneurs d’orientation et 1 actionneur de rotation
  • Course ±5° (θX, θY et θZ)
  • Résolution : 50µrad
  • Précision : ±50µrad
  • Classe propreté (10, 100, 1000 ou 10 000) et Vide (10-6 mbar)
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: Positionneur 3 axes

Inserteur

Insérer, positionner et orienter un objet dans une enceinte à vide
  • Equipé d’un positionneur à 6 degrés de liberté de grande précision
  • Masse maximale de l’objet à insérer : 2.5 Kg
  • Fonctionnement sous vide
  • Durcissement aux champs électromagnétique et compatible nucléaire
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: Inserteur
verin-miniature-micro-VMP4-100-60

Vérin µVMP4-100-60

Vérin miniature
  • Encombrement minimal
  • Déplacement irréversible
  • Système anti-rotation de la tige
  • Effort de poussée : jusqu’à 60N
  • Course : +/-2mm
  • Résolution : 100 nm
  • Compatible : UHV, étuvage 120°C
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: Vérin µVMP4-100-60

Vérin µVMR 4-15-5

Micro-vérin robotique
  • Course : 15mm
  • Motorisation : Coreless DC, 5 Vdc
  • Vitesse nominale : 3 à 5mm/s
  • Force nominale : 2N (en traction et en poussée)
  • Force max : 5N (en traction et en poussée)
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: Vérin µVMR 4-15-5
verin-miniature-micro-VMR20-50-12V

Vérin µVMR20-50 12V

Vérin miniature robotique
  • Encombrement minimal
  • Déplacement irréversible
  • Système anti-rotation de la tige
  • Pilotage en régulation de vitesse
  • Effort de poussée : jusqu’à 100N
  • Effort axial maximal de blocage : jusqu’à 70N
  • Course : 20mm
  • Compatible : tout inox, tige étanche
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: Vérin µVMR20-50 12V
verin-miniature-micro-VMR20-50

Vérin µVMR20-50 24V

Vérin miniature robotique
  • Encombrement minimal
  • Déplacement irréversible
  • Système anti-rotation de la tige
  • Pilotage en régulation de vitesse
  • Effort de poussée : jusqu’à 60N
  • Course : 20mm
  • Résolution : 1.35µm par imp
  • Compatible : tout inox, tige étanche
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: Vérin µVMR20-50 24V

Actionneur µAME 12 – Space

Actionneur Mirométrique d'Effort miniature
  • Conception brevetée
  • Génère des efforts bidirectionnels de grandes précision
  • Couplage sans frottement parasite
  • Maintien stable et constant de l’effort hors énergie
  • Compatible à des contraintes spatiales
  • Effort: ± 12N
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: Actionneur µAME 12 – Space

Actionneur µAME 30

Actionneur micrométrique d'effort miniature
  • Conception brevetée
  • Génère des efforts bidirectionnels de grandes précision
  • Moteur courant continu, équipé d’un codeur
  • Maintien stable et constant de l’effort hors énergie
  • Tige à montage flottant
  • Effort: ± 30N
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: Actionneur µAME 30

Actionneur µAME 5

Actionneur Micrométrique d'Effort miniature
  • Génère des efforts bidirectionnels de grande précision
  • Moteur courant continu, équipé d’un codeur
  • Maintien stable et constant de l’effort hors énergie
  • Tige à montage flottant
  • Plus petit actionneur de notre gamme µAME
  • Effort: ± 5N
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: Actionneur µAME 5

µAME 17 moteur pas à pas

Actionneur Micrométrique d'Effort miniature
  • Conception brevetée
  • Haute résolution et grande stabilité
  • Encombrement minimal
  • Résolution nanométrique
  • Moteur pas à pas
  • Tige à montage flottant
  • Effort: ± 17N
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: µAME 17 moteur pas à pas

Actionneur µAME 7

Actionneur Micrométrique d'Effort miniature
  • Génère des efforts bidirectionnels de grande précision
  • Moteur courant continue équipé d’un codeur
  • Maintien stable et constant de l’effort hors énergie
  • Tige à montage flottant
  • Effort: ± 7N
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: Actionneur µAME 7

VAM 50-5000 – Type F

Vérin Alignement Micrométrique
  • Supporte des solides sans les déformer, avec des montages isostatiques: grande raideur axiale et grande stabilité
  • Course verticale maxi : 50 mm
  • Résolution : 5µm
  • Capacité de charge : Verticale Y (±48kN), Radiale X et Z (50% de la charge verticale limitée à 9kN)
  • Masse actionneur : 55 Kg
  • ISO 8
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: VAM 50-5000 – Type F

VAM 50-5000 – Type E

Vérin Alignement Micrométrique
  • Supporte des solides sans les déformer, avec des montages isostatiques: grande raideur axiale et grande stabilité
  • Course verticale maxi : 50 mm
  • Résolution : 5µm
  • Capacité de charge : Verticale Y (±27.5kN), Radiale Z (150% de la charge verticale), Radiale X (25% de la charge verticale)
  • Masse actionneur : 70 Kg
  • ISO 8
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: VAM 50-5000 – Type E

VAM 50-5000 – Type D

Vérin Alignement Micrométrique
  • Supporte des solides sans les déformer, avec des montages isostatiques: grande raideur axiale et grande stabilité
  • Course verticale maxi : 50 mm
  • Résolution : 5µm
  • Capacité de charge : Verticale Y (30kN), Radiale Z (380% de la charge verticale), Radiale X (100% de la charge verticale)
  • Masse actionneur : 109 Kg
  • ISO 8
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: VAM 50-5000 – Type D

VAM 50-5000 – Type C

Vérin Alignement Micrométrique
  • Supporte des solides sans les déformer, avec des montages isostatiques: grande raideur axiale et grande stabilité
  • Course verticale maxi : 50 mm
  • Résolution : 5µm
  • Capacité de charge : Verticale Y (±30kN), Radiale X et Z (50% de la charge verticale limitée à 5kN)
  • Masse actionneur : 40 kg
  • ISO 8
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: VAM 50-5000 – Type C

VAM 50-5000 – Type B

Vérin Alignement Micrométrique
  • Supporte des solides sans les déformer, avec des montages isostatiques: grande raideur axiale et grande stabilité
  • Course verticale maxi : 50 mm
  • Résolution : 5µm
  • Capacité de charge : Verticale Y (±13.5kN), Radiale Z (150% de la charge verticale), Radiale X (150% de la charge verticale)
  • Masse actionneur : 63 Kg
  • ISO 8
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: VAM 50-5000 – Type B

VAM 50-5000 – Type A

Vérin Alignement Micrométrique
  • Supporte des solides sans les déformer, avec des montages isostatiques : grande raideur axiale et grande stabilité
  • Course verticale maxi : 50 mm
  • Résolution : 5µm
  • Capacité de charge : Verticale Y (62.5kN), Radiale Z (31% de la charge verticale), Radiale X (15% de la charge verticale)
  • Masse actionneur : 94 Kg
  • ISO 8
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: VAM 50-5000 – Type A

Actionneur AME-30

Actionneur Micrométrique d'Effort
  • Efforts Bidirectionnels de grande précision
  • Maintien stable et constant de l’effort hors énergie
  • Tige de sortie à montage flottant: accepte désalignement angulaire et radiaux sans engendrer de frottements parasite
  • Très faible statisme
  • Effort développé: ± 30N
  • Course: ±100µm
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: Actionneur AME-30

Actionneur AME 20

Actionneur Micrométrique d'Effort
  • Conception brevetée
  • Efforts bidirectionnels de grande précision
  • Moteur pas à pas
  • Maintien de l’effort stable et constant hors énergie
  • Très faible statisme
  • Tige de sortie par montage flottant: accepte désalignement angulaire et radiaux sans engendrer de frottements parasites
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: Actionneur AME 20

Actionneur AEMDF 1000-5000

Actionneur Electromagnétique Micrométrique (Déplacement & Force)
  • Lauréat du Micron d’or 2010
  • Génère force ou déplacement de haute précision asservi en dynamique
  • Moteur électromagnétique linéaire
  • Guidage par liaison déformable: pas de frottement parasite, haute précision et répétabilité, pas d’entretien
  • Compact
  • Course : jusqu’à 2mm
  • Effort : +5N à -5N
  • Précision en déplacement : 2µm
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: Actionneur AEMDF 1000-5000

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